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사파이어 기판
제품정보
우리회사는 LED 기판, 반도체 필름 재료 MOCVD, 갈륨 질화물 및 기타 에피택시 성장에 사용할 수 있는 2~8인치 표준, 비표준 및 특수 맞춤형 사파이어 기판 기판을 제공할 수 있습니다.
| ITEM | 4 inch Sapphire |
| Material | >99.99%，High Purity， Mono-crystalline Al2O3 (KY) |
| Diameter | 100 ± 0.3 mm |
| Thickness | 650 ± 25um |
| Orientation | C Plane [0001] to M (1-100) 0.2°±0.1° |
| Primary flat | A-plane (11-20) ± 0.2° |
| Primary Flat Length | 30.0±1.0mm |
| Front Side | Epi-ready, Ra < 0.3nm |
| Back Side | Ra<1.2um |
| TTV | ≤ 10 um |
| BOW | ≤ 15 um |
| WARP | ≤ 15 um |
