石英玻璃是由二氧化硅(SiO2)单一组分构成的特种工业技术玻璃，具有一系 列优良的物理化学性能：耐温性高达 1100-1200℃，比普通玻璃高 800℃，是 透明的耐火材料；热膨胀系数小，仅为 5.5 × 10-7/℃，相当于普通玻璃的 1/20，

具有极佳的透光性能，紫外线、可见光、红外 线等都可以良好地透过；具有良好的电绝缘性，20 ℃时电阻率为 1018Ω/cm， 绝缘强度为 250kV/cm，真空度可达 10～6Pa；化学稳定性好，除氢氟酸和热 磷酸外，不溶于其他任何酸。

石英制品（石英片、石英环等电子级石英制品）应用在半导体集成电路的基 本原料：晶圆生产过程中的硅片扩散、氧化、刻蚀等环节。