金属膜硅片主要用于欧姆接触,导电基底,扫描电镜,原子力显微镜以及纳米材料等领域。
富乐达科技可以提供金属膜硅片现货以及定制加工等服务。
金属膜工艺 | 磁控溅射 / 热蒸发 / 电镀等 |
硅片直径 | 1″ / 2″ / 3″ / 4″ / 6″ 英寸 |
金属膜厚度 | 10~1000nm |
晶向 | 110、110、111等 |
型号 | N型 P型 本征 |
电阻 | CZ/MCZ:From 0.001 to 1000 ohm-cm FZ:up to 20k ohm-cm |
金属膜种类 | 金 / 铂 / 铝 / 铜 / 镍 / 银等 |
结构 | 基底+粘结层+镀层 |
其他基底材料 | 石英 / 铌酸锂 / 玻璃等 |
