석영 웨이퍼
석영 제품(석영 웨이퍼 및 석영 링과 같은 전자 등급 석영 제품)은 웨이퍼 생산 공정에서 실리콘 웨이퍼의 확산, 산화 및 에칭과 같은 반도체 집적 회로의 기본 원료로 사용됩니다.
| 제품 세부 정보 | 4인치 석영 웨이퍼 | 6인치 석영 웨이퍼 |
| 크기 | 4 inch (100mm±0.1) | 6 inch (150.1mm±0.1) |
| 두께 | 1mm±0.02mm | 0.5mm±0.02mm |
| Flat | 30±1mm | 47.5±1mm |
| 앞 | Polished | Polished |
| 뒤 | Polished | Polished |
| TTV | ≤ 1 um | ≤ 1um |
| BOW | ≤ 15 um | ≤ 15 um |
