탄화규소(SiC) 기판


탄화규소 기판은 주로 IGBT, 5G, 고전력소자, 광전자공학, 전기자동차 등의 분야에 사용되며, 우수한 성능으로 인해 실리콘을 칩으로 대체할 수 있다.


우리 회사는 2~6인치 테스트 등급, 산업용 등급 및 선택 등급의 탄화규소 기판을 제공할 수 있습니다.제품은 American Cree, Japan Showa Denko 및 중국의 Tianke Heda 등에서 제공되며 또한 탄화규소 에피택시(EPI) 처리 서비스도 제공할 수 있습니다. 



 Grade ProductionDummyTest
 Size/Diameter6 inch / 150mm±0.2
 Type/Thickness4H-N Type / 350um±25 / 500um±25
 OrientationOff axis : 4.0° toward <11-20>±0.5° for 4H-N
 Micropipe Density

≤1 /cm2 

≤10 /cm2 

N/A

 Resisivity

4H-N: 0.015~0.025 Ω·cm


(Area 75%) 0.015~0.028 Ω·cm


N/A

 Primary Flat Orientation {11-20}±5.0°
 Primary Flat Length 47.5 mm±2.0 mm
Wafer EdgeChamfer
 TTV/BOW/WARP≤10μm /≤40μm /≤60μm
Roughness
CMP Si: Ra＜0.5 nm
 Surface Finish
C-face: MP, Si-face: CMP 
Polytype Area

N/A

 ≤10 of Whole AreaN/A
 Edge ChipsN/A
≤2, the length and width of each ＜1mm 

Qty.2 ＜1.0 mm width and depth 

Cracks

N/A

N/A

N/A