탄탈산(LiTaO3) 기질
리튬 니오베이트 기판은 주로 레이저 기술의 Q-스위치, 적외선 기술의 초전기 검출기, 전자 산업의 필터 및 공진기로 사용됩니다.
우리회사는 2~6인치 기판, 표면 코팅, 기판 절단 및 기타 서비스를 제공할 수 있습니다.
| Item | LiTaO3 | |
| Growth method | CZ (Czochralski) | |
| Use for | SAW / BAW | |
| Wafer size | 4 inch / 6 inch | |
| Diameter | 100 ± 0.5 / 150 ± 0.5 mm | |
| Orientation | 36º/42º Rotated Y axis | X cut / Z cut |
| Thickness | 350/500 ± 25um | 、500/1000 ± 25um |
| OF (Orientation Flat) | 32 ± 2 / 47 ± 2 mm | |
| TTV (um) | 10 Max. | |
| Warp (um) | 50 Max.. | |
| Surface-Front side | Polished | |
| Surface-Back side | Lapped / Polished | |
