1~3인치 반도체 실리콘 웨이퍼
우리회사는 테스트 수준의 실리콘 웨이퍼에서 생산 수준의 실리콘 웨이퍼 및 특수 사양 실리콘 웨이퍼에 이르기까지 1~3인치 반도체 CZ, MCZ, FZ 실리콘 웨이퍼를 제공할 수 있습니다.
실리콘 웨이퍼는 PVD/CVD/열산화/질화 및 기타 코팅 기판, 마그네트론 스퍼터링 성장 샘플, 분자빔 에피택시 성장 기판, SEM 주사 전자 현미경, 투과 전자 현미경,원자력 원자현미경, 라만 분광법, 적외선 분광법, 형광 분광법 및 기타 분석 및 테스트 기판, X선 분석, 에칭, 본딩, 광투과, 렌즈, 장치 등에 사용될수 있습니다.
| Growth method | CZ,MCZ,FZ |
| Grade | Prime,Test,Dummy,etc. |
| Diameter | 1 2 3 inch/25mm 50mm 75mm |
| Thinkness | 50～3000um |
| Surface-Finish | As cut,lapped,etched,SSP,DSP,etc |
| Orientation | (100)(111)(110)(211),etc. |
| Off cut | up to 7 deg |
| Type/Dopant | P/B,N/Phos,N/As,N/Sb,intrinsic FZ:up to 20k ohm-cm |
| Resistivity | CZ/MCZ:From 0.001 to 1000 ohm-cm |
| Thin films | PVD:Al,Cu,Cr,Si,Ni,Fe,Mo.etc, PECBD:Oxide,Nitride,SiC,etc |
| Processes | DSP,ultra thin,ultra flat,etc. Downsizing,back grinding,dicing,etc. |
