石英ガラスウェハー
クォーツ製品(クォーツウェハ-やクォーツリングなどの電子グレードのクォーツ製品)は、半導体集積回路の基本的な原材料として使用されます。ウェーハ製造プロセスでのシリコンウェハ-の拡散、酸化、エッチングです。
商品スペック | 4インチ石英ウェハー | 6インチ石英ウェハー |
サイズ | 4 inch (100mm±0.1) | 6 inch (150.1mm±0.1) |
厚み | 1mm±0.02mm | 0.5mm±0.02mm |
オリフラ | 30±1mm | 47.5±1mm |
正面 | Polished | Polished |
裏面 | Polished | Polished |
TTV | ≤ 1 um | ≤ 1um |
BOW | ≤ 15 um | ≤ 15 um |