SOI基板
SOIウェハーは、最上層(デバイス層)、中間の酸化物層(絶縁SiO2層)、最下部の基板(ハンドル シリコン)の合計3層の構造です。SIMOX法とウェーハボンディング技術を使用して製造されます。より薄く、より正確なデバイス層、均一な厚さ、および低い欠陥密度を実現できます。
SOIウェーハは、高速および低電力デバイス向けの優れたソリューションを提供し、高電圧およびRFデバイス向けの新しいソリューションとして広く認識されています。
フレダ テクノロジーは、直径2インチ、3インチ、4インチ、5インチ、6インチ、8インチのSOIウェハーを提供できます。抵抗率の範囲は、0.001〜100,000 ohm-cm、100nm(1000Å)〜300umから選択できます。 MEMS、パワーデバイス、圧力センサー、CMOS集積回路の製造などの分野に応用されます。
Item | Specification | |
Basic Spec | Wafer Size | 50/75/100/125/150/200mm±25um |
Flat/Notch | Flat or Notch | |
Device Layer | Type | N-Type/P-Type |
Dopant | B/ P/ Sb / A | |
Orientation | 100/110/111 | |
Thickness | 0.1~300um | |
Resistivity | 0.001~100,000ohm-cm | |
Particle | <30ea@0.3 | |
TTV | <10um | |
Surface | Polished | |
BOX | Buried Oxygen Layer Thickness | 50nm(500Å)~15um |
Handle Layer | Type | N-Type/P-Type |
Dopant | B/ P/ Sb / As | |
Orientation | 100/110/111 | |
Resistivity | 0.001~100,000ohm-cm | |
Thickness | >100um | |
Surface | Polished |