SOI基板


SOIウェハーは、最上層(デバイス層)、中間の酸化物層(絶縁SiO2層)、最下部の基板(ハンドル シリコン)の合計3層の構造です。SIMOX法とウェーハボンディング技術を使用して製造されます。より薄く、より正確なデバイス層、均一な厚さ、および低い欠陥密度を実現できます。 


SOIウェーハは、高速および低電力デバイス向けの優れたソリューションを提供し、高電圧およびRFデバイス向けの新しいソリューションとして広く認識されています。


フレダ テクノロジーは、直径2インチ、3インチ、4インチ、5インチ、6インチ、8インチのSOIウェハーを提供できます。抵抗率の範囲は、0.001〜100,000 ohm-cm、100nm(1000Å)〜300umから選択できます。 MEMS、パワーデバイス、圧力センサー、CMOS集積回路の製造などの分野に応用されます。


   



Item             


Specification           

Basic 

Spec           

Wafer Size               

50/75/100/125/150/200mm±25um                

Flat/Notch            Flat or Notch                

Device 

Layer

             
Type

  N-Type/P-Type                

Dopant                       

 B/ P/ Sb / A                

Orientation           100/110/111                
Thickness           0.1~300um                
Resistivity        

0.001~100,000ohm-cm                

Particle            <30ea@0.3                

TTV          

<10um                

Surface           Polished                
BOX                Buried Oxygen Layer Thickness        

50nm(500Å)~15um                

Handle 

Layer            

Type

N-Type/P-Type                

Dopant                B/ P/ Sb / As                
Orientation             100/110/111                
Resistivity            0.001~100,000ohm-cm                
Thickness            >100um                
Surface            Polished