SIN膜ウェハー
窒化物膜（SIN）シリコンウェーハは、単結晶の強度を高め、シリコンウェーハの反りを防ぎ、微小欠陥の形成を抑制することができます。
| 製法 | PRCVD / PECVD |
| 直径 | 1″ / 2″ / 3″ / 4″ / 6″ inch |
| タイプ | N-Type / P-Type / Intrinsic |
| 抵抗値 | CZ/MCZ/FZ: From 0.001 to 200,000 ohm-cm |
| ウェハー厚み | 50~3000um |
| SIN膜厚み | 50~1000nm |
| 表面 | Single Side SIN Film / Double Side SIN Film |
