金属膜ウェハー
金属膜シリコンウェーハは、主にオーミックコンタクト、導電性基板、走査型電子顕微鏡、原子間力顕微鏡、およびナノ材料に使用されます。
フレダ テクノロジーは、スポットメタルフィルムシリコンウェハーやオーダーメードサービスを提供できます。
| 製法 | Magnetron Sputtering、Evaporation、Electroplating |
| 直径 | 1″ / 2″ / 3″ / 4″ / 6″ inch |
| 結晶方位 | 110、110、111 etc |
| タイプ | N-Type、 P-Type、 Intrinsic |
| 抵抗値 | CZ/MCZ:From 0.001 to 1000 ohm-cm FZ:up to 20k ohm-cm |
| 金属膜厚み | 10~1000nm |
| 使用金属 | Au、Pt、Al、Cu、Ni、Ag etc |
| 構造 | Substrate＋Ti、Cr、Ni＋Coating Film |
| その他の基板 | Quarte / Lithium Niobate / Glass etc |
