サファイヤウェハー(Sapphire)
フレダ テクノロジーは、2〜8インチのサファイア基板基板を提供できます。LED、半導体フィルム材料MOCVD、窒化ガリウム、
およびその他のエピタキシャル成長に使用できます。
| 製品 | 4インチサファイヤウェハー |
| 材料 | >99.99%，High Purity， Mono-crystalline Al2O3 (KY) |
| 直径 | 100 ± 0.3 mm |
| 厚み | 650 ± 25um |
| 結晶方位 | C Plane [0001] to M (1-100) 0.2°±0.1° |
| オリフラ | A-plane (11-20) ± 0.2° |
| オリフラ長さ | 30.0±1.0mm |
| 正面 | Epi-ready, Ra < 0.3nm |
| 裏面 | Ra<1.2um |
| TTV | ≤ 10 um |
| BOW | ≤ 15 um |
| WARP | ≤ 15 um |
