炭化ケイ素(SiC)基盤


炭化ケイ素(SiC)、シリコンカーバイドの最大特徴は、バンドギャップが3.25eVと従来のSi半導体に比べて3倍と広いことです。このため、絶縁破壊にいたる電界強度が3MV/cmと10倍程度大きくなります。又、熱伝導性がSiの3倍以上であり、300°C以上の高温においても電気的特性が安定しているばかりか、デバイス化した場合にはデバイス内部での電力損失をSi半導体の1/10近くまで抑えられます。更に、耐薬品性に優れ、放射線に対する耐性もSi半導体より高いという特徴を持っています。こうした特徴により、SiCは従来のSi半導体より小型、低消費電力、高効率のパワー素子、高周波素子、耐放射線性に優れた半導体材料として期待されています。
 

フレダ テクノロジーは、2〜6インチのプロダクショングレード、ダミーグレードグレードなどの基板を提供できます。SiC基盤のEPI対応も可能です。

 Grade ProductionDummyTest
 Size/Diameter6 inch / 150mm±0.2
 Type/Thickness4H-N Type / 350um±25 / 500um±25
 OrientationOff axis : 4.0° toward <11-20>±0.5° for 4H-N
 Micropipe Density

≤1 /cm

≤10 /cm2 

N/A

 Resisivity

4H-N: 0.015~0.025 Ω·cm


(Area 75%) 0.015~0.028 Ω·cm


N/A

 Primary Flat Orientation {11-20}±5.0°
 Primary Flat Length 47.5 mm±2.0 mm
Wafer EdgeChamfer
 TTV/BOW/WARP≤10μm /≤40μm /≤60μm
Roughness
CMP Si: Ra<0.5 nm
 Surface Finish
C-face: MP, Si-face: CMP 

Polytype Area

N/A

 ≤10 of Whole AreaN/A

Edge Chips

N/A
≤2,the length and width of each <1mm 

Qty.2 <1.0 mm width and depth 

Cracks

N/A

N/A

N/A