炭化ケイ素(SiC)基盤
炭化ケイ素(SiC)、シリコンカーバイドの最大特徴は、バンドギャップが3.25eVと従来のSi半導体に比べて3倍と広いことです。このため、絶縁破壊にいたる電界強度が3MV/cmと10倍程度大きくなります。又、熱伝導性がSiの3倍以上であり、300°C以上の高温においても電気的特性が安定しているばかりか、デバイス化した場合にはデバイス内部での電力損失をSi半導体の1/10近くまで抑えられます。更に、耐薬品性に優れ、放射線に対する耐性もSi半導体より高いという特徴を持っています。こうした特徴により、SiCは従来のSi半導体より小型、低消費電力、高効率のパワー素子、高周波素子、耐放射線性に優れた半導体材料として期待されています。
フレダ テクノロジーは、2〜6インチのプロダクショングレード、ダミーグレードグレードなどの基板を提供できます。SiC基盤のEPI対応も可能です。
Grade | Production | Dummy | Test |
Size/Diameter | 6 inch / 150mm±0.2 | ||
Type/Thickness | 4H-N Type / 350um±25 / 500um±25 | ||
Orientation | Off axis : 4.0° toward <11-20>±0.5° for 4H-N | ||
Micropipe Density | ≤1 /cm2 | ≤10 /cm2 | N/A |
Resisivity | 4H-N: 0.015~0.025 Ω·cm | (Area 75%) 0.015~0.028 Ω·cm | N/A |
Primary Flat Orientation | {11-20}±5.0° | ||
Primary Flat Length | 47.5 mm±2.0 mm | ||
Wafer Edge | Chamfer | ||
TTV/BOW/WARP | ≤10μm /≤40μm /≤60μm | ||
Roughness | CMP Si: Ra<0.5 nm | ||
Surface Finish | C-face: MP, Si-face: CMP | ||
Polytype Area | N/A | ≤10 of Whole Area | N/A |
Edge Chips | N/A | ≤2,the length and width of each <1mm | Qty.2 <1.0 mm width and depth |
Cracks | N/A | N/A | N/A |