ニオブ酸リチウム(LiNbO3)基盤


ニオブ酸リチウム(LN或はLiNbO3)結晶は、その圧電性、焦電性、非線形光学効果などを利用して、各種光学用、表面弾性波素子、ソーデバイス、レーザー素子などの基板材料として使われています。


フレダ テクノロジーは、2〜6インチの基板、表面コーティング、基板ダイシングおよびその他のサービスを提供できます。

 

 製品 ニオブ酸リチウム(LiTaO3)
 製法 CZ (Czochralski)
 用途 SAW
 サイズ 4インチ / 6インチ
 直径 100 ± 0.5mm / 150 ± 0.5mm
 結晶方位42° / 64º/128º Rotated Y axis  X cut / Z cut
 厚み 350 / 500 ± 25um500 / 1000 ± 25um
 オリフラ 32 ± 2mm /  47 ± 2mm
 TTV (um) 10 Max.
 Warp (um) 50 Max..
 正面  Polished
 裏面 Lapped / Polished