ニオブ酸リチウム(LiNbO3)基盤
ニオブ酸リチウム(LN或はLiNbO3)結晶は、その圧電性、焦電性、非線形光学効果などを利用して、各種光学用、表面弾性波素子、ソーデバイス、レーザー素子などの基板材料として使われています。
フレダ テクノロジーは、2〜6インチの基板、表面コーティング、基板ダイシングおよびその他のサービスを提供できます。
製品 | ニオブ酸リチウム(LiTaO3) | |
製法 | CZ (Czochralski) | |
用途 | SAW | |
サイズ | 4インチ / 6インチ | |
直径 | 100 ± 0.5mm / 150 ± 0.5mm | |
結晶方位 | 42° / 64º/128º Rotated Y axis | X cut / Z cut |
厚み | 350 / 500 ± 25um | 500 / 1000 ± 25um |
オリフラ | 32 ± 2mm / 47 ± 2mm | |
TTV (um) | 10 Max. | |
Warp (um) | 50 Max.. | |
正面 | Polished | |
裏面 | Lapped / Polished |