タンタル酸リチウムLT(LiTaO3)基盤
タンタル酸リチウムLT(LiTaO3)結晶は、非線形光学材料、圧電素子、焦電素子としての特性を持ち、電子工学・核融合など種々の分野で利用される。三方晶系イルメナイト類似構造、融点は約 1,650℃で熱的、化学的に安定な結晶である。単結晶は非線形光学材料としてレーザー媒質として利用されたり、圧電セラミックスとして圧電素子、表面弾性波フィルター等に利用される。
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製品 | タンタル酸リチウム(LiTaO3) | |
製法 | CZ (Czochralski) | |
用途 | SAW/ BAW | |
サイズ | 4インチ/ 6インチ | |
直径 | 100 ± 0.5mm / 150 ± 0.5mm | |
結晶方位 | 42° / 64º/128º Rotated Y axis | X cut / Z cut |
厚み | 350 / 500 ± 25um | 500 / 1000 ± 25um |
オリフラ | 32 ± 2mm / 47 ± 2mm | |
TTV (um) | 10 Max. | |
Warp (um) | 50 Max.. | |
正面 | Polished | |
裏面 | Lapped / Polished |