タンタル酸リチウムLT(LiTaO3)基盤


タンタル酸リチウムLT(LiTaO3)結晶は、非線形光学材料、圧電素子、焦電素子としての特性を持ち、電子工学・核融合など種々の分野で利用される。三方晶系イルメナイト類似構造、融点は約 1,650℃で熱的、化学的に安定な結晶である。単結晶は非線形光学材料としてレーザー媒質として利用されたり、圧電セラミックスとして圧電素子、表面弾性波フィルター等に利用される。


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 製品 タンタル酸リチウム(LiTaO3)
 製法 CZ (Czochralski)
 用途 SAW/ BAW
 サイズ 4インチ/ 6インチ
 直径 100 ± 0.5mm / 150 ± 0.5mm
 結晶方位42° / 64º/128º Rotated Y axis  X cut / Z cut
 厚み 350 / 500 ± 25um500 / 1000 ± 25um
 オリフラ 32 ± 2mm / 47 ± 2mm
 TTV (um) 10 Max.
 Warp (um) 50 Max..
 正面  Polished
 裏面 Lapped / Polished